The application of secondary ion mass spectrometry for the investigation of dopant and matrix elements in CoSi₂/Si structures

Författare
Tekniska högskolan i Stockholm Juan Cardenas
(Juan Cardenas., Härtill 7 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk.)
Genre
theses, Avhandlingar
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
KTH högskoletr. 1998 Sverige, Stockholm, Stockholm x, 62 sidor. 24 cm